Метрологическая система контроля качества
Оптико-электронная система для 3D-сканирования микросборок ПЗС и измерения их геометрии. Объединяет оптический сканер, управляемую механику перемещения и специализированное ПО.

О проекте
В основе 2D-сканера лежит метод оптической триангуляции. Сканер установлен под углом на подвижном портале, чтобы обследовать зеркально отражённую составляющую объекта. Это позволяет снизить мощность зондирующего лазерного пучка.
Портал перемещается по осям X и Y с помощью высокоточных направляющих, винтов и шаговых двигателей. Два растровых датчика в цепи обратной связи контролируют положение сканирующего луча. Концевые датчики на краях платформы позволяют избежать повышенной нагрузки на драйвер при заклинивании винта.
Что было реализовано
- Разработан драйвер перемещения сканера в заданную позицию с обратной связью по положению.
- Создано ПО для управления сканированием, интерпретации данных и их преобразования в пространственные координаты.
- В ПО включён калькулятор высоты, линейных размеров и положения микросборок ПЗС; пользовательский интерфейс позволяет выполнять сканирование и обработку результатов.
Технические детали
- Метод измерения
- Оптическая триангуляция, 2D-сканер
- Точность измерения
- ±0,5 мкм
- Точность определения позиции датчиками
- ±0,5 мкм
- Измерительный диапазон
- 250 × 500 × 40 мм
Применение
3D-сканирование, измерение высоты, линейных размеров и положения микросборок ПЗС.



